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光学无尘车间|微电子净化工程

发布者:上海蓝彻净化 浏览次数: 发布时间:2021-02-04

  光微电子净化工程的定义是去除一定空间范围内空气中的微尘粒、有害空气、细菌等污染物,控制室内温湿度、洁净度、室内压力、风速及气流分布、噪声、振动等,在一定需求范围内的照明和静电,给予专门设计的密闭空间。
 

  目前,光学无尘车间工程是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、电路板制造、生物化学、医药、食品制造等行业不可缺少的重要设施。近年来,由于技术的创新和发展,对产品的高精度和小型化的要求更加迫切,如超大规模集成电路的研究和制造,已成为世界各国在科技发展中高度重视的项目。
 

光学无尘车间,微电子车间净化
 

  光学无尘车间工程一般包括:

  1、清洁生产区

  2、清洁辅助用房(含人员净化间、物料净化间及部分客厅等)

  3、管理区(含办公、值班、管理、休息等),等)

  4设备区(含净化空调系统应用、电气室、高纯水煤气室、,冷暖设备间)

  光学无尘车间工程净化原理:

  气流→一效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化出口→吹入室内→除尘,细菌等颗粒→回风百叶窗→初效净化重复上述过程即可达到净化的目的。
 

光学无尘车间,微电子车间净化
 

  光学无尘车间项目净化参数:

  1、通风次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000级≥30次。压差:主厂房至相邻房间≥5pa

  2、平均风速:10级,100级0.3-0.5m/s;冬季温度>16℃;夏季26℃;波动±2℃。

  3、温度45-65%;GMP粉末车间湿度50%左右;电子车间湿度略高,以防静电。

  4、噪声小于65dB(a),新风补充量占总送风量的10%-30%,照度300lx。
 

光学无尘车间,微电子车间净化
 

  光学无尘车间净化工程材料:

  1、净化车间墙面及顶板一般采用50mm厚夹芯彩钢板,外形美观,刚性强。弧形转角、门窗框一般采用特殊的氧化铝型材。

  2、地板可采用环氧自流地板或高档耐磨塑料地板,有防静电要求的可选用防静电型。

  3、供、回风管采用热锌板,粘贴阻燃酚醛泡沫塑料板,净化保温效果好。

  4、高效送风口采用不锈钢框架,美观干净。网板冲孔采用搪瓷铝板,无锈蚀、无尘。

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